機械故障是指機械部件的故障，例如泵葉片、軸承或密封件等的損壞。在檢查機械故障時，您應該注意一些常見問題，例如泵葉片是否磨損或損壞，軸承是否過熱或損壞，密封件是否泄漏等。將這些問題逐個排除，您就可以找到問題的根源。

    電氣故障是指真空泵電氣系統的問題。這些問題可能會導致真空泵停止運行，或者泵的噪音變大等問題。檢查電氣故障時，應該注意電源線是否損壞、保險絲是否熔斷等。

    在進行維修前，應該詳細檢查真空泵的運行狀態(tài)。確保泵沒有任何振動或噪音。這可以確定可能存在的問題，并幫助您找到問題的根源。在檢查泵的狀態(tài)時，您還應該檢查各個部分的溫度是否正常。高溫可能是泵故障的原因之一。確保泵的冷卻系統正常運行，以保持泵的正常溫度。